Lauda Semistat S 1200 Isıtmalı Sirkülasyon Banyosu
-20 ila 90 °C arası yarı iletken endüstrisi için termoelektrik proses termostatları
Termoelektrik Semistat sıcaklık kontrol sistemi, plazma aşındırma uygulamaları için tekrarlanabilir sıcaklık kontrolü sunar.
Bu sistem, elektrostatik gofret aynasının (ESC) dinamik sıcaklık kontrolünü sağlar ve her türlü dağlama işlemi ile birlikte kullanılabilir.
LAUDA Semistat termoelektrik sıcaklık kontrol sistemleri, Peltier elementlerinden ısı transferinin kanıtlanmış ve iyi bilinen prensiplerine dayanmaktadır.
Bu elemanların kullanımı, her zamankinden daha küçük bileşenlerin imalatında yer alan zorlu süreçler için gerekli olan hızlı ve hassas sıcaklık kontrolünü sağlar.
Semistat sıcaklık kontrol sistemleri kullanılarak kompresör bazlı sistemlere göre enerji tüketimi %90'a varan oranda azaltılabilmektedir.
Kullanım noktasında zemin altı kurulum imkanı ile çok küçük bir alan gereksinimi, temiz oda tüketiminin en aza indirilmesine yol açar.
İyileştirilmiş gofretten gofrete homojenlik, proses sıcaklık profillerinin ±0,1 K'ye kadar hızlı ve hassas sıcaklık kontrolü ile elde edilir.
Teknik Özellikler:
Çalışma sıcaklığı aralığı -20 ... 90 °C
Sıcaklık kararlılığı 0,1 ± K
Isı çıkışı en az 3 kW
Dolum hacmi en az 1 L
Dolum hacmi maksimum 1,3 L
Boyutlar (GxDxY) 116 x 232 x 470 mm
Ağırlık 15kg
Ana güç kaynağı PSC'ye bağlantı
Stok Kodu: L003276
Sistem İçeriği:
Lauda Semistat S 1200 Isıtmalı Sirkülasyon Banyosu, Güç Kablosu ve Kullanma Kitapçığı.
Diğer aksesuarlar için; satış temsilcisi ile iletişime geçmenizi tavsiye ederiz.
Mail: satis@cihazlab.com
